Compteur de particules laser cubique pour la surveillance de la propreté de l'air

Selon les analyses de l'industrie publiées par SEMI, la micro-contamination est un facteur clé affectant la stabilité de l'environnement dans les environnements de fabrication contrôlés. Par conséquent, la surveillance de la propreté de l'air en salle blanche est devenue un élément essentiel des programmes de contrôle de la contamination et d'assurance de la qualité au niveau des installations.

Les particules sont l'une des principales sources de contamination en suspension dans l'air dans les environnements propres. La surveillance continue des particules en suspension dans l'air aide les exploitants des installations à vérifier les conditions de propreté de l'air et à maintenir la conformité aux normes relatives aux salles blanches.

Pour soutenir la surveillance environnementale continue de la salle blanche, Cubic fournit le compteur de particules optiques en ligne OPC-6510DS, conçu pour la mesure en temps réel de la concentration de particules en suspension dans l'air dans des environnements contrôlés tels que les installations de fabrication d'électronique et d'autres applications basées sur les salles blanches.

Le cubiqueOPC-6510DSEst développé sur la base de la technologie de diffusion laser et permet une détection précise des particules de différentes tailles dans une unité de volume d'air. Doté d'un module de compteur de particules laser intégré, d'un ventilateur RPM cohérent et d'un capteur de débit à ultrasons, le OPC-6510DS délivre un débit d'échantillonnage stable de 28.3 L/min, conformément aux exigences de classification ISO 14644-1 salle blanche.

L'instrument prend en charge la sortie simultanée sur cinq canaux granulométriques (>0.3 μm, >0.5 μm, >1.0 μm, >5.0 μm, >10 μm), rapporté en pcs/28.3 L ou pcs/m³, et est conçu pour 24/7 fonctionnement continu pour assurer une surveillance stable et à long terme des niveaux de particules en suspension.

De plus, le OPC-6510DS est équipé d'un écran tactile intégré pour la visualisation en temps réel des données de surveillance et des niveaux de classification des salles blanches. Des alarmes sonores et visuelles sont fournies pour prendre en charge les alertes environnementales sur place.

Les données de surveillance peuvent être transmises via la communication RS485 Modbus et MQTT, permettant une intégration avec les systèmes de surveillance des installations ou de gestion des bâtiments, qui prennent en charge les actions de contrôle environnemental en temps opportun pour maintenir les concentrations de particules en suspension dans les seuils de propreté prédéfinis.